第655章 光刻机

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,转向EUV光源技术。

    所以,中国不但缺少研发光刻机的制造公司,还缺少研发光刻机光源的高科技企业。

    在光刻机镜头方面,中国光学科研单位研发的速度十分缓慢,一直到2020年,都没有研制出什么实物。

    就连DUV光刻机使用的透镜和核心的光学镜片、目前和光刻机光源一样,都不掌握在国内厂商的手中,要实现这两方面的突破,绝非一日之功,但是这一步是必须要走,而且是刻不容缓。

    至于光刻机生产需要的工件台,虽然国内有企业已经开始研发双工件台,但双工作台的技术还很落后,估计目前刚摸索到一点光刻机双工件台的门槛。

    除了这三大部件外,剩下的控制台,掩膜台等还至关重要,需要众多国内芯片制造企业继续摸索前进。

    但是,中国芯片制造产业的发展,不仅仅是简单的芯片制造技术,还要在国内形成一条完整的国产化芯片产业链,而这个芯片产业链,既需要众多中国半导体企业通力合作,还需要中国政府和科研单位在芯片研发方面进行大力支持。

    在开始时,只有少数的几家半导体企业加盟,但李向阳相信这支队伍以后会逐渐扩大,在所有半导体企业的共同努力下,一定生产出中国先进的光刻机。
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