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第422章 EUV难度更大

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    三人来到张江开发区,走进SEE研发大楼,来到一间硕大的车间。

    好家伙。

    偌大车间,一台巨大的设备占据了大部分空间。

    看着线路及零部件密集程度,令人头皮发麻。

    「老板,这就是我们研发的duvArfi光刻机,不出意外,应该是目前国内最高水准。」何融明用略带骄傲的口吻介绍道:

    「从双工作台、光源系统、曝光系统到物镜系统、光栅系统……任何一个零部件都是国产自主。」

    换作八年前,何融明想都不敢想。

    这就是资本得当的魔力。

    「即便只是dUV光刻机,也是全球唯一一个能独立制造的国家。」梁青松说。

    他的神情与有荣焉。

    「售价准备多少?」常乐问。

    「我们计划3000万美元一台。」何融明说。

    嗯,ASL的dUV光刻机型号不同,价格不同。

    dUV价格区间为2000万欧元至6500欧元。

    其中,与国产dUV相类似的,售价为6500万美元。

    「这是很有竞争力的价格。」常乐点头。

    「对,因为全线国产自主,我们的成本可以压到很低。」何融明说。

    片刻后,车间内来了很多人。

    这些人都是零部件企业和科研机构负责人。

    何融明一一向常乐介绍。

    常乐一一和这些人握手。

    这些企业中,有华卓精科,他们提供双工件台;

    有科益虹源,他们提供光源;

    有国科精密,提供曝光系统;

    有启尔机电,提供浸没系统;

    有国望光学,提供物镜;

    有沪光所,提供光栅系统;

    还有南大光电,他们提供光刻胶;

    华特气体提供光刻气体;

    华润膜提供光掩膜板;

    东方晶源提供缺陷检测系统;

    以及,芯源微提供涂胶显影。

    正是这些企业的大力研发,才能确保成功研发duv浸没式光刻机。

    See和ASL一样,都是系统组合商。

    核心技术聚焦设备组合,而不是设备研发。

    介绍完且相互认识之后,众人一同来到会议室。

    依次坐定,常乐说:

    「首先,要感谢各位八年来的不懈努力和辛勤付出。」

    「因为你们的砥砺奋进、守望相助,国产光刻机才能在如此短的时间内,实现Krf光刻到ArFi光刻的三级跳,取得了历史性突破。」

    「但是,现在还不是我们庆功的时候。」

    「新的挑战就在眼前,站在技术迭代的关键十字路口,下一步我们该怎么走,还需要再确定、再出发。」

    掌声!

    常乐说完这几句话,问何融明:「何总,目前Asl那边EUV光刻机什么进展?」

    「据我们所知,应该已经完成原型机研发,但离真正上市商用,还需要时间,具体时间不确定。」何融明说。

    「那这么说,我们和Asl的差距不大了?」常乐继续问。

    「嗯……单单产品方面看,差距确实不大,甚至我们还更有优势。」何融明解释道:

    「但是从技术和产品积累看,我们要走的路还有很长。」

    「因为他们研发Euv,走了22年,必然遇到我们想都想不到的问题。这些问题,接下来我们都会遇到。」

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