第277章 Arf光刻
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第二天。
常乐在曾熙、梁青松陪同下,来到沪微电子。
之所以来沪微电子,主要原因是何融明告诉他,公司的光刻机研发,取得里程碑式的进展。
第四代步进式投影式光刻机,即波长193纳米Arf准分子激光光刻机(没有浸没系统的dUV),研发成功。
这意味着光刻最小工艺节点,将推进至65纳米。
常乐原本不相信,或者怀疑。
短短不到两年时间,能从第三代跨到第四代?
常乐揣测可能是好大喜功的老毛病又犯了——采用进口零部件组装。
何融明毕竟是官僚体系出身。
然,华红梁青松告诉他,不是虚言,而是真正地研发成功。
沪微电子成功研发Arf光刻机后,第一时间与华红半导体对接,得到了华红半导体的验证支持。
验证结果表明,成功!
华红半导体已经准备采购一批,面向国内客户爆产能。
价格嘛,6000万一台,约1000万欧元一台,比ASL便宜了50%。
沪微电子门口,何融明率领公司高层静静等待。
当车队开过来,何融明等人立即鼓起掌来。
这不是形式,也不是程式。
代表的是沪微电子全体同仁发自内心的欢迎和敬佩。
三年多时间,不计成本上千亿专项研发资金砸入,带动了光刻机上下游供应链研发齐头并进。
这个行业,尤其是上游的供应链企业何曾打过这么宽裕的仗?
换谁,内心不激动、不感慨、不敬佩?
三年来,青灯黄卷、孜孜不倦终于不再是晨钟暮鼓、道傍之筑;
而是阶段性成就、历史性成果。
乐达投资的格局、力度、气魄令人心悦诚服。
常乐下车。
何融明立即走上前来,热情握手,态度足够恭敬:
「老板,您可终于来了。」
「哈哈,老何,听你在电话里说,我就不得不来,你给我了一个大惊喜啊。」常乐笑着说。
「老板言重了,能够突破主要还是依赖母公司的支持,供应商的齐心协力。」何融明说。
「谦虚了,管理和工程师们的努力,也是关键因素。」常乐说:
「走吧,带我们去看看你们的成果。」
「老板,曾总,梁总,诸位,这边请。」何融明带着众人走进研发楼,来到研发车间。
车间内摆放着一台硕大的箱体设备。
设备半敞开,内部密密麻麻的线路,连接着外行人完全看不懂的设备。
至少常乐、曾熙看不懂。
「老板,这就是我们研发的第四代步进式投影式光刻机……」何融明介绍道:
「它采用193纳米arf氟化氩准分子激光光源,可以将工艺制程推进到65纳米。」
「这一代光刻机已经基本满足大部分半导体电子产品的需求。」
「真正意义上的国产自主?」常乐确认一遍。
「对!这台设备的10万多个零部件,哪怕是一颗螺丝钉都是国内厂商提供……
「性能经过华红半导体验证,与ASL相差无几。」何融明斩钉截铁地。
「能够这么快自主研发成功,还是要归功于母公司的资金保障。」
「因为资金保障充分,配套企业的研发积极性非常高,供应的产品性能和关键指标不断提升,目前已基本达到国际一流水准。」
「核心组建方(本章未完,请点击下一页继续阅读)
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