第512章 527：接下来要做的就只有等待了

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科技所提供的反射镜和光源是否能够使用。

    要是能够使用他们就会确认光刻机的制造方案，然后再去解决光刻机更换镜头出现误差的问题。

    「张博士，你们的光源解决了吗？」贺明看向一旁的张永升问道。

    张永升正是深蓝科技研究EUV光源的负责人。

    「贺总，我们这边已经调试好了。」张永升回道。

    「各部门调整完备没有？」贺明看向其他人问道。

    「贺总，我们已经调整完毕了。」众人回道。

    「大家离开光刻机进入测试阶段。」贺明大声叫道。

    随着贺明的声音响起众人纷纷离开光刻机退出光刻机实验室，一众人退出实验室以后来到了外面的操控台，贺明再次向实验室的研究人员确认光刻机准备完毕。

    在得到众人答复后他按下了光刻机的执行键。

    这个时候实验室的设备开始运转起来，光刻机实验室的空气被抽干，整个实验室进入真空状态，光刻机必须要在真空状态下才能运行，因为这台光刻机还没有安装外壳的原因。

    最简单的方法就是将整个实验室的空气抽干将实验室转换成真空状态。

    光刻机的光刻台也在这个时候开始运转起来。

    光刻机将一片晶圆刻录完毕，机器人将晶圆从机器上取出，随后机器人将晶圆放入输出窗，技术员也在输出窗那拿到晶圆，接下来就是对晶圆的刻蚀和清洗。

    只有经过这两个步骤以后才能确认光刻机刻录是否成功。

    这两个过程需要花将近二十个小时来完成，接下来他们要做的就只有等待了，只要结果出来就知道是否成功了。

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